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精密设备

掩磨台

名 称:掩磨台
应用: 气浮件
材质: 20r 1 3
外形: 16*360*368/mm
精度要求

产品描述

名 称:掩磨台

应用: 气浮件

材质: 20r 1 3

外形: 16*360*368/mm

精度要求

基准面平面度: 6um

局部30*30范围内2um

位置度: 0.01mm

平行度: 0.015mm

 

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